Метилсилан

Метилсилан
Общие
Систематическое наименование	Метилсилан
Химическая формула	CH3-SiH3
Эмпирическая формула	СH6Si
Физические свойства
Молярная масса	46,14 г/моль
Плотность	газ 1,93 г/л 0,6277-57 г/см³
Термические свойства
Температура плавления	-156,8; -157 °C
Температура кипения	-57,5; -56,9 °C
Классификация
Рег. номер CAS	992-94-9
Рег. номер EINECS	213-598-5

Метилсилан — органическое соединение, алкилпроизводное силана, воспламеняющийся, бесцветный газ с неприятным запахом, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Получение

• Реакцией монохлорсилана с диметилцинком:

$~\mathsf{2SiH_3Cl + Zn(CH_3)_2 \ \xrightarrow{}\ 2CH_3\text{-}SiH_3 + ZnCl_2 }$

• Восстановлением метилтрихлорсилана алюмогидридом лития:

$~\mathsf{4CH_3\text{-}SiCl_3 + 3Li[AlH_4] \ \xrightarrow{}\ 4CH_3\text{-}SiH_3 + 3LiCl + 3AlCl_3 }$

• Реакция диспропорционирования метилдиэтоксисилана:

$~\mathsf{3CH_3\text{-}SiH(OCH_2CH_3)_2 \ \xrightarrow{}\ CH_3\text{-}SiH_3 + 2CH_3\text{-}SiH(OCH_2CH_3)_3 }$

Физические свойства

Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Химические свойства

• Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:

$~\mathsf{CH_3\text{-}SiH_3 \ \xrightarrow{T}\ CSi + 3H_2 }$

• Реагирует с галогенами:

$~\mathsf{CH_3\text{-}SiH_3 + Cl_2 \ \xrightarrow{}\ CH_3\text{-}SiH_2Cl + HCl }$

Применение

• Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.
• Поставляется в баллонах под давлением 13 атм.
• Цена на метилсилан ≈4 000$/кг.

Литература

• Химическая энциклопедия / Редкол.: Кнунянц И.Л. и др.. — М.: Советская энциклопедия, 1990. — Т. 2. — 671 с. — ISBN 5-82270-035-5