Тетраметиловый гидроксид аммония

Тетраметиловый гидроксид аммония

Тетраметиловый гидроксид аммония
Общие
Систематическое наименование	Тетраметиловый гидроксид аммония
Сокращения	TMAH, TMAOH
Химическая формула	(CH3)4NOH
Классификация
Рег. номер CAS	75-59-2
SMILES	C[N+](C)(C)C.[OH-]

Тетраметиловый гидроксид аммония (TMAH, TMAOH) это четвертичная аммониевая соль с молекулярной формулой (CH₃)₄NOH. ОН испольуется как анизотропный травитель для кремния. Также испольуется как основной растворитель при производстве кислотного фоторезиста в процессе фотолитографии. Поскольку он является катализатором фазового перехода, он очень эффективен для удаления фоторезиста. Также используется как поверхностно-активное вещество при синтезе ферромагнитых жидкостей, чтобы препятствовать слипанию ее частиц.

Токсичность

Раствор TMAH является сильным основанием. Ионы тетраметилового аммония могут повреждать нервы и мышцы, приводя к затруднению дыхания и, возможно, смерти вскоре после контакта даже с с небольшим количеством вещества. Чистый TMAH практически не имеет запаха, загрязненный триметиламином (который применяется в производстве четвертичных аммониевых солей) имеет запах мертвой рыбы.

Анизотропный травитель

TMAH относится к семейству растворов четвертичных гидроксидов аммония и широко используется для анизотропного травления кремния. Типичная температура травления 70°-90°C, типичная концентрация 5 %-25 % TMAH по массе в водном растворе. Скорость травления кремния увеличивается с ростом температуры и падает с ростом концентрации TMAH. Грубость травления кремниевой поверхности увеличивается с ростом концентрации TMAH, при концентрации 20 % получается гладкая поверхность травления.

Распространенные материалы для масок при длительном травлении в TMAH включают в себя диоксид кремния (химически осаждённый из газовой фазы при пониженном давлении ) и нитрид кремния. Нитрид кремния имеет незначительную скорость травления в TMAH; скорость травления в TMAH для диоксида кремния зависит от качества пленки, но в целом имеет порядок 0.1 нм/минуту.